Deposição de Magnetron Sputtering em Campo de Filme Funcional
Formulários
| Formulários | Propósito específico | tipo de material |
| filme funcional | filme superhard | TiN, TiC |
|
Filme à prova de luz |
Cr, AlSi, AlTi, etc | |
| filme resistivo | NiCrSi, CrSi, MoTa, etc | |
| filme supercondutor | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| filme magnético | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, etc |
Princípio de trabalho
Existem muitos tipos de pulverização catódica com diferentes princípios de trabalho e objetos de aplicação.Mas lá
tem uma coisa em comum: faz com que os elétrons percorram trajetórias espirais perto da superfície do alvo pela interação entre
campos magnéticos e elétricos, aumentando assim a probabilidade de geração de íons provenientes de elétrons que atingem o argônio.
Os íons gerados então atingem a superfície do alvo sob a ação do campo elétrico e espalham os materiais do alvo.
Características
| Modelo | MSC-FF-X—X |
| Tipo de revestimento | Vários filmes dielétricos, como filme metálico, óxido metálico e AIN |
| Faixa de temperatura do revestimento | Temperatura normal a 500 ℃ |
| Tamanho da câmara de vácuo de revestimento | 700mm*750mm*700mm (Personalizável) |
| vácuo de fundo | < 5×10-7mbar |
| Espessura do revestimento | ≥ 10nm |
| Precisão do controle de espessura | ≤ ±3% |
| Tamanho máximo do revestimento | ≥ 100mm (Personalizável) |
| Uniformidade da espessura do filme | ≤ ±0,5% |
| transportador de substrato | Com mecanismo de rotação planetária |
| Material alvo | 4 × 4 polegadas (compatível com 4 polegadas e abaixo) |
| Fonte de energia | As fontes de alimentação como DC, pulso, RF, IF e bias são opcionais |
| gás de processo | Ar, N2, ó2 |
| Nota: Produção personalizada disponível. | |
Amostra de Revestimento
Etapas do processo
→ Colocar o substrato para revestimento na câmara de vácuo;
→ Aspirar grosseiramente;
→ Ligue a bomba molecular, aspirena velocidade máxima, ligue a revolução e a rotação;
→ Aquecendo a câmara de vácuo até que a temperatura atinja oalvo;
→ Implementar o controle de temperatura constante;
→ Elementos limpos;
→ Revolver e voltar à origem;
→ Filme de revestimento de acordo com os requisitos do processo;
→ Abaixar a temperatura e parar o conjunto da bomba após o revestimento;
→ Pare de trabalhar quandoa operação automática é concluída.
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