Magnétron que engasga o depósito na indústria do sistema ótico
Aplicações
| Aplicações | Finalidade específica | Tipo material |
| Sistema ótico |
Filmes óticos tais como o filme de antirreflexo, |
SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2 |
| vidro da Baixo-emissão |
Camadas múltiplas do metal (prata, cobre, lata, etc.) |
|
| Vidro de condução transparente | ZnO: Al, etc. |
Princípio de funcionamento
As características de engasgar do magnétron são altas filme-formando a taxa, baixa temperatura da carcaça, boa adesão do filme
e revestimento realizable da grande área. Esta tecnologia pode ser dividida em engasgar do magnétron da C.C. e em magnétron do RF
engasgar.
Características
| Modelo | MSC-O-X-X |
| Tipo de revestimento | Vários filmes dielétricos tais como o filme do metal, o óxido de metal e o AIN |
| Variação da temperatura de revestimento | Temperatura normal a 500℃ |
| Tamanho de revestimento da câmara de vácuo | 700mm*750mm*700mm (customizável) |
| Vácuo do fundo | < 5="">-7mbar |
| Espessura de revestimento | ≥ 10nm |
| Precisão de controle da espessura | ≤ ±3% |
| Tamanho de revestimento máximo | ≥ 100mm (customizável) |
| Uniformidade da espessura de filme | ≤ ±0.5% |
| Portador da carcaça | Com mecanismo planetário da rotação |
| Material de alvo | polegadas 4×4 (compatíveis com 4 polegadas e abaixo) |
| Fonte de alimentação | As fontes de alimentação tais como C.C., pulso, RF, SE e a polarização é opcional |
| Gás do processo | AR, N2, O2 |
| Nota: Produção personalizada disponível. | |
Amostra de revestimento
Etapas do processo
O → coloca a carcaça para revestir na câmara de vácuo;
→ Vacuumize a câmara de vácuo na temperatura do alto e baixo, e para girar synchronously a carcaça;
O → começa revestir: a carcaça é contactada com precursor em ordem e sem reação simultânea;
O → remove-o com gás do nitrogênio da alto-pureza após cada reação;
A parada do → que gerencie a carcaça depois que a espessura de filme é até padrão e a operação da remoção e de refrigerar é
terminado, a seguir tome a carcaça após o vácuo que quebra circunstâncias são encontrados para fora.
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