Magnétron que engasga o depósito no campo do revestimento da Anti-descoloração
Aplicações
| Aplicações | Finalidade específica | Tipo material |
| revestimento da Anti-descoloração | Revestimento da antioxidação do metal precioso | Al2O3, TiO2 |
Princípio de funcionamento
Os elétrons colidem continuamente com os átomos do argônio no processo do movimento, ionizando um grande número íons do argônio a
bombardeie o alvo. Após colisões múltiplas, a energia dos elétrons diminui gradualmente. Os elétrons quebram afastado
da limitação da linha de força magnética, mantenha longe do alvo, e finalmente do depósito na carcaça.
Características
| Modelo | MSC-ADC-X-X |
| Tipo de revestimento | Vários filmes dielétricos tais como o filme do metal, o óxido de metal e o AIN |
| Variação da temperatura de revestimento | Temperatura normal a 500℃ |
| Tamanho de revestimento da câmara de vácuo | 700mm*750mm*700mm (customizável) |
| Vácuo do fundo | < 5="">-7mbar |
| Espessura de revestimento | ≥ 10nm |
| Precisão de controle da espessura | ≤ ±3% |
| Tamanho de revestimento máximo | ≥ 100mm (customizável) |
| Uniformidade da espessura de filme | ≤ ±0.5% |
| Portador da carcaça | Com mecanismo planetário da rotação |
| Material de alvo | polegadas 4×4 (compatíveis com 4 polegadas e abaixo) |
| Fonte de alimentação | As fontes de alimentação tais como C.C., pulso, RF, SE e a polarização é opcional |
| Gás do processo | AR, N2, O2 |
| Nota: Produção personalizada disponível. | |
Amostra de revestimento
Etapas do processo
O → coloca a carcaça para revestir na câmara de vácuo;
O → vacuumize aproximadamente;
O → gerencie na bomba molecular, vacuumize na velocidade superior, a seguir gerencie na revolução e na rotação;
→ que aquece a câmara de vácuo até que a temperatura alcançar o alvo;
O → executa o controle de temperatura constante;
O → limpa elementos;
O → revolve e de volta à origem;
Filme de revestimento do → de acordo com exigências do processo;
O → abaixa a temperatura e para o conjunto da bomba após o revestimento;
O → para de trabalhar quando a operação automática é terminada.
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