Deposição catódica de magnetron na indústria de baterias de película fina de perovskita
Formulários
| Formulários | Propósito específico | tipo de material |
| Bateria de película fina de perovskita | Camada condutora transparente | ZnO:Al |
Princípio de trabalho
A pulverização catódica do magnetron é para restringir e estender os caminhos de movimento do elétron pelo campo magnético, alterar o movimento
as direções do elétron, aumentam a taxa de ionização do gás de trabalho e usam efetivamente a energia dos elétrons.
A pulverização catódica de magnetron tem as seguintes características: taxa de deposição rápida, alta eficiência de deposição, adequada para
aplicação em larga escala na produção industrial;baixa temperatura do substrato, adequado para o revestimento de plásticos e
outros substratos resistentes ao calor;alta pureza dos filmes preparados, boa compacidade, melhor uniformidade do filme e forte
coesão filme-substrato;metal, liga, óxido e outros filmes podem ser preparados;livre de poluição.
Características
| Modelo | MSC-PFB-X—X |
| Tipo de revestimento | Vários filmes dielétricos, como filme metálico, óxido metálico e AIN |
| Faixa de temperatura do revestimento | Temperatura normal a 500 ℃ |
| Tamanho da câmara de vácuo de revestimento | 700mm*750mm*700mm (Personalizável) |
| vácuo de fundo | < 5×10-7mbar |
| Espessura do revestimento | ≥ 10nm |
| Precisão do controle de espessura |
≤ ±3% |
| Tamanho máximo do revestimento | ≥ 100mm (Personalizável) |
| Uniformidade da espessura do filme | ≤ ±0,5% |
| transportador de substrato | Com mecanismo de rotação planetária |
| Material alvo | 4 × 4 polegadas (compatível com 4 polegadas e abaixo) |
| Fonte de energia | As fontes de alimentação como DC, pulso, RF, IF e bias são opcionais |
| gás de processo |
Ar, N2, ó2 |
| Nota: Produção personalizada disponível. | |
Amostra de Revestimento
Etapas do processo
→ Colocar o substrato para revestimento na câmara de vácuo;
→ Aspirar grosseiramente;
→ Ligue a bomba molecular, aspire na velocidade máxima, depois ligue a revolução e a rotação;
→ Aquecimento da câmara de vácuo até que a temperatura atinja o alvo;
→ Implementar o controle de temperatura constante;
→ Elementos limpos;
→ Revolver e voltar à origem;
→ Filme de revestimento de acordo com os requisitos do processo;
→ Abaixar a temperatura e parar o conjunto da bomba após o revestimento;
→ Pare de trabalhar quando a operação automática terminar.
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