Deposição de Camada Atômica em Campo de Membrana de Separação
Formulários
| Formulários | Propósito específico |
| Membrana de separação |
Filtração |
| Separação de gás |
Princípio de trabalho
A deposição de camada atômica (ALD) tem as seguintes vantagens devido à quimissorção de saturação da superfície e
Mecanismo de reação autolimitante:
1. Controle com precisão a espessura do filme controlando os números de ciclo;
2. Devido ao mecanismo de saturação da superfície, não há necessidade de controlar a uniformidade do fluxo do precursor;
3. Películas altamente uniformes podem ser geradas;
4. Excelente cobertura de degraus com alta relação de aspecto.
Características
| Modelo | ALD-SM-X—X |
| Sistema de filme de revestimento | AL2O3,TiO2,ZnO, etc |
| Faixa de temperatura do revestimento | Temperatura normal a 500 ℃ (personalizável) |
| Tamanho da câmara de vácuo de revestimento |
Diâmetro interno: 1200mm, Altura: 500mm (Personalizável) |
| Estrutura da câmara de vácuo | De acordo com os requisitos do cliente |
| vácuo de fundo | <5×10-7mbar |
| Espessura do revestimento | ≥0,15nm |
| Precisão do controle de espessura | ±0,1nm |
| Tamanho do revestimento | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², etc. |
| Uniformidade da espessura do filme | ≤±0,5% |
| Gás precursor e carreador |
Trimetilalumínio, tetracloreto de titânio, dietil zinco, água pura, nitrogênio, etc |
| Nota: Produção personalizada disponível. | |
Amostras de Revestimento
Etapas do processo
→ Colocar o substrato para revestimento na câmara de vácuo;
→ Aspire a câmara de vácuo em alta e baixa temperatura e gire o substrato de forma síncrona;
→ Revestimento inicial: o substrato é contatado com o precursor em sequência e sem reação simultânea;
→ Purgar com gás nitrogênio de alta pureza após cada reação;
→ Pare de girar o substrato depois que a espessura do filme atingir o padrão e a operação de purga e resfriamento for
concluída e, em seguida, retire o substrato depois que as condições de quebra de vácuo forem atendidas.
Nossas vantagens
Nós somos fabricante.
Processo maduro.
Resposta dentro de 24 horas úteis.
Nossa Certificação ISO
Partes de nossas patentes
Partes de nossos prêmios e qualificações de P&D
Nossos produtos são vendidos em todo o mundo. Você pode ter certeza de todo o processo de nossos produtos.
