Detector material do defeito de superfície do semicondutor
Aplicações
Para a gestão controle de processos e do rendimento da máscara vazia no campos da exposição do semicondutor e
fabricação da microplaqueta do circuito integrado, nós usamos tecnologias de teste óticas da taxa de transferência alta para fazer rápido e
detecção automática exata para os defeitos de superfície da máscara vazia. De acordo com necessidades de usuário profissionais,
nós desenvolvemos a série de taxa de transferência alta MASCARAMOS máquinas da inspeção com qualidade segura e custo alto
relação do desempenho, para ajudar os fabricantes de vidro da carcaça, da máscara e do painel a identificar e para monitorar a máscara
os defeitos, reduzem o risco de rendimento e para melhorar sua capacidade independente do R&D para tecnologias de núcleo.
Princípio de funcionamento
A propósito do nível e do tipo do defeito de superfície, da lente 4x telecentric, de luz específica do anel do ângulo e de luz coaxial
a fonte é selecionada como a aproximação visual. Quando o dispositivo está correndo, a amostra move-se ao longo do X
o sentido e o módulo da visão realizam a detecção do defeito ao longo do sentido de Y.
Características
| Modelo | SDD0.5-0.5 | |
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Detecção do desempenho |
Tipo detectável do defeito | Os riscos, espanam |
| Tamanho detectável do defeito | 1μm | |
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Precisão da detecção (medido) |
detecção 100% de defeitos/coleção de defeitos (riscos, poeira) |
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| Eficiência da detecção |
minutos ≤10 (Valor medido: máscara de 350mm x de 300mm) |
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Desempenho de sistema ótico |
Definição | 1.8μm |
| Ampliação | 40x | |
| Campo visual | 0.5mm x 0.5mm | |
| Iluminação clara azul | 460nm, 2.5w | |
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Desempenho da plataforma do movimento
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X, movimento da dois-linha central de Y Nivelamento de mármore da bancada: 2.5μm precisão do runout do Z-sentido da Y-linha central: ≤ 10.5μm precisão do runout do Z-sentido da Y-linha central: ≤8.5μm
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| Nota: Produção personalizada disponível. | ||
Imagens da detecção
Nossas vantagens
Nós somos fabricante.
Processo maduro.
Resposta dentro de 24 horários laborais.
Nossa certificação do ISO
Partes de nossas patentes
Partes de nossas concessões e qualificações do R&D
Nossos produtos são vendidos em todo o mundo. Você pode ter certeza de todo o processo de nossos produtos.
